在需要停機維修機械真空泵前，首先必須先斷開機械真空泵連接管道以保證機械真空泵己通大氣壓，然後讓機械真空泵進行冷卻，可先放掉泵內真空泵油，泵內油排放乾淨冷卻20分鐘以後才可拆開機械真空泵。
一、機械真空泵維護時間表
機械真空泵維護時間間隔應根據真空泵使用環境而定，如抽除氣體中包含有水份、雜質、粉塵等異物就必須頻繁檢修真空泵，反之則可延長檢修時間表。
1、每日需要維護事項，檢查泵內油質、油位
2、每星期需要維護事項，檢查真空泵是否漏油，進氣濾芯用風槍清理殘留在總成與進氣濾芯上的灰塵與雜物。
3、每月需要維護事項，檢查排氣過濾器（油霧分離器）功能，是否存在冒煙、噴油等現象，如果出現問題則需要更換真空泵排氣過濾器。
4、每6個月需要維修事項，檢查真空泵泵腔體是否有灰塵、污垢、積碳、雜質等，必要時可對真空泵進行清理，包括油箱、泵體、風扇、風扇輪、通風格柵、冷卻翅片。
5、每工作500~2000小時需要維護事項：更換真空泵排氣過濾器、真空泵油、真空泵油過濾器，檢查泵內浮子閥、及回油管道。
進行以上操作的時候，請確保真空泵在停機情況下進行。
二、真空泵油的檢查
檢查真空泵油的情況可通過油視鏡觀看到泵油的情況，如果泵油己低於油視鏡“MIN”標記處，則應檢查是否由於工藝需求導致。
真空泵油的著色必須是光亮、清晰的，不能存有泡沫或渾濁，油靜止沉澱後有明顯的乳白色物質和黑色碳晶特，則必須更換掉使用的真空泵油，加入同等型號真空泵專用油。
三、真空泵油的使用壽命
泵油的使用壽命取決於真空泵所處的工作環境，抽取乾淨、乾燥的氣體及工作溫度低於100℃的工作環境下，一般每隔500-2000工作小時或每隔半年必須更換油及油過濾器，在非常惡劣的工作環境下，必須少於500工作小時換油，如果有抽除腐蝕性氣體，必須得使用特製進氣過濾器和專用合成油，必要時使用氟油。
四、真空泵油和油過濾器的更換
1、真空泵排油，切斷真空泵電源20分鐘以後，確保真空泵己通大氣壓，找到真空泵排油口（油視鏡下方），旋下排油口放出真空泵油，當泵油的流量較小時，可重新啟動真空泵數秒，再次親閉真空泵切斷電源后重新打旋下排油口進行放油，多次重複此動作直至真空泵油排盡。
2、清洗真空泵，首先需將廢油排盡，按照50%真空泵油，50%石蠟或柴油機燃料/燃料油比例調配2L清洗液;旋緊泄油塞，將此清洗液注入真空泵內，關閉進氣口，啟動真空泵運行至少30分鐘;然後排放清洗液，並將排放的清洗液按照環保法規處理。
3、檢查浮子閥：卸下回油管與油箱之間的接頭，然後卸下浮子閥法蘭的兩個螺釘，從油箱內取出浮子閥;檢查浮子閥是否清潔、是否損壞，必要時用壓縮空氣清洗。組裝時注意浮子閥法蘭上已安裝密封圈並完好無損，將浮子閥放入油箱的正確位置。
4、更換油過濾器：在新的油過濾器內的密封圈上滴潤滑油，組裝並用手擰緊。
5、注入新油：旋下加油塞，注入真空泵專用油，須確保油位位於油位鏡的“MIN”與“MAX”標記之間；旋緊裝有密封圈的加油塞。
五、排氣過濾器
1、真空泵運行時的檢查：使用排氣過濾器壓力表檢測排氣過濾器是否堵塞，當壓力表讀數位於紅色區域，說明排氣過濾器已堵塞，必須更換。如果無排氣過濾器壓力表，則排氣過濾器的阻力由驅動電機電流的變化來測定，驅動電機消耗過多的電流或真空泵的流量下降，說明排氣過濾器已堵塞，必須更換。
如果排氣過濾器壓力表指示的壓力比通常低，或驅動電機消耗的電流比通常少，原因是有一個排氣過濾器損壞，需更換排氣過濾器。如果排放的氣體中含有油，原因是排氣過濾器堵塞或損壞，須更換。排氣過濾器不能徹底清洗乾淨，必須更換堵塞的排氣過濾器。
2、更換排氣過濾器前請先關閉真空泵並切斷電源，確保真空泵已通大氣壓，從油箱上打開排氣口蓋板，藉助專用內六用搬手拆下排氣過濾器，將裝有密封圈的新的排氣過濾器開口端安裝在油箱內正確位置上。
六、真空泵的大修
為了使真空泵的工作效率達到最高，使用壽命更長，其安裝與校準有精確的公差。拆裝真空最，校準公差將丟失。因此，拆裝事項必須由“專業的真空泵廠家”公司提供服務。污染物質會殘留在真空泵的氣孔、間隙及內部;拆裝含有污染物的真空泵會有損健康。拆裝真空泵，操作人員必須穿戴防護裝備。
七、真空泵停止使用
1、暫時停止使用：請先通大氣壓，然後斷開管道或進氣口連接。
2、重新使用：先拆下驅動電機的風扇罩，按照旋轉方向，用手慢慢旋轉風扇輪幾圈，再安裝風扇罩。開通電源啟動。如長時間停止使用，需將真空泵油排除。
