微型真空泵，是指具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，並且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
微型氣泵是指體積小巧，工作介質為氣態，主要用於氣體採樣、氣體循環、真空吸附、真空保壓、抽氣、打氣、增壓等多種用途的一種氣體輸送裝置。 微型氣泵
微型氣泵按用途分為：微型負壓泵，微型真空泵，微型氣體循環泵，微型氣泵，微型氣體採樣泵，微型打氣泵，微型抽氣泵，微型抽氣打氣兩用泵等；
微型真空泵是以泵的原理來命名的。
微型氣泵，微型氣體循環泵等，是以泵的功能來命名的。因為它能抽氣，所以也稱微型抽氣泵。因為它的進行氣體循環，所以也稱氣體循環泵。
所以微型真空泵根據用途來分，可稱為：微型負壓泵，微型抽氣泵，微型抽氣打氣兩用泵等等。
