隔膜式真空閥和真空擋板閥結構特點

常用真空閥門閥體的材料主要有金屬和玻璃。手動真空閥門驅動手輪採用高強度塑料材料。玻璃真空活塞又稱“考克”，一般用於玻璃真空系統、小型真空裝置、真空計規管或校準系統上。優點是製作比較容易、使用方便，易於清洗觀察，化學穩定和絕緣性好，放氣量較小等。不足之處是由於玻璃的脆性及活塞彎口處塗一層油脂，故限制了它的使用範圍。工業生產所需要的真空裝置，如真空鍍膜設備、真空冶鍊設備、真空熱處理設備、空間環境模擬設備、火箭發動機模擬設備、衛星表面帶電模擬設備、粒子加速器及受控核聚變裝置、重離子加速器等都採用金屬閥門。

真空閥門通常根據閥門的工作特性、傳動原理、連接方式和用途等進行分類。

根據工作壓力分：低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。

根據用途分：截止閥、隔離閥、充（放）氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥等。

根據傳動原理分：手動閥、手電筒兩用閥、電磁閥、氣動閥和液動式真空閥。

根據材料分：玻璃真空活塞（考克）、金屬真空閥。

根據結構特點分：擋板閥、翻板閥、蝶閥、球閥、連桿閥、隔板閥、閘閥、雙通閥、三通閥、四通直通閥和直通閥等。

22. 2. 2 類型

（1）隔膜式真空閥

隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上，用來截止或接通氣流。它常裝在被抽真空容器與各種低真空泵之間。典型的隔膜式真空閥結構圖如圖 22-1 所示。

其動作原理是旋轉手柄使閥桿向下運動，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉手輪，閥桿向上運動，帶動橡膠隔膜離開閥座，接通氣流。閥門主體採用鋁合金鑄造。結構簡單、質量輕、體積小，密封性能良好。採用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用於前級和預抽低真空管道上及溫度一 25?80°C的非腐蝕性氣體。採用氟橡膠的隔膜真空閥，可用於高真空系統，使用溫度範圍為一30?150°C。

（2）真空擋板閥

真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現密封的。驅使閥桿運動的傳動部件有手動、手電筒兩動、氣動三種方式。手動傳動部件，以螺紋結構為主，也可以採用平凸輪結構。圖22-2和圖22-3 分別為直角式、直通式真空擋板閥結構示意圖。手動兩用的傳動部件，由電動機、蝸輪、蝸桿組成，並裝有行程開關。當接通電源后，電動機按某一方向（如開啟方向）旋轉，通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運動使閥板上升，當閥上升到一定高度時，行程開關自動切斷電源，閥桿運動立即停止，反之亦然。手動時，

鬆開手輪背帽，用手按一定方向轉動手輪即可，圖22-4為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。氣動傳動部件以壓縮乾燥空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動汽缸活塞上下運動，帶動閥桿上下運動，使閥板開啟關閉，從而達到接通或停止氣流的目的。

真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用於高真空系統接通或截止氣流。適用壓力範圍：軸封為橡膠時為1.3X10_4?105Pa; 軸封為波紋管結構時為1.3X10-5?105Pa。工作介

截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用於在半連續真空作業的進出料容器上。使用溫度為一20?80°C，不適用於對黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

b.超高真空插板閥主要用於超高真空系統中接通或截止氣流。適用的介質為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時，閥體允許烘烤溫度小於 150°C。

由於真空插板閥具有流導大，密封性能好，放氣率低，體積小，結構緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優點，因此真空插板閥廣泛用於中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統中。

②形式和性能參數

a.高真空插板閥的形式與基本參數，已有行業標準（JB/T 4077—91）。該標準規範的高真空插板閥的形式和基本參數，適用於1.3X10-5?1.0X105Pa

真空系統中用來?雲艋蚋舳掀?韉牟灝宸А?雲舴?攀保?О辶講嗟難共鈑π∮諢虻扔?. 7kPa。

b.我國生產的超高真空插板閥有手動（CC型）、氣動（CCQ型）和電動（CCD型）三種。適用於介質為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動來推動鋼球運動，撐開閥板關閉，又靠彈簧力收攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動力推動鋼球運動，實現閥門的開啟和關閉。這兩種閥的材料為不鎊鋼，漏氣速率不超@ 1.3X 10-7 Pa • L/So GCD型系列閥門形式同CCl5型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結構改為丁腈橡膠圈密封結構；閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用範圍為 1.3X104 ?105Pa。