全自動划片機的高速高精度運動定位及控制技術

全自動    時間:2014-03-13 23:38:22
全自動划片機的高速高精度運動定位及控制技術簡介
從國際划片機發展過程來看,從Ф150mm到Ф200mm,精度僅提高1μm,但這是在行程增大的條件下提高的,對導軌、絲杠等機械部件的精度及變形要求極嚴,要確保划切精度和晶元安全,決……
全自動划片機的高速高精度運動定位及控制技術正文
從國際划片機發展過程來看,從Ф150mm到Ф200mm,精度僅提高1μm,但這是在行程增大的條件下提高的,對導軌、絲杠等機械部件的精度及變形要求極嚴,要確保划切精度和晶元安全,決不允許有誤差積累,因此,只能選擇閉環控制。要在不影響或盡量小地影響效率的前提下實現閉環控制,必須採用高速高精度定位及其控制系統。高效能、快速響應驅動系統Ф200mm矽片尺寸大、密度高、划切刀痕小,因此,它對各方向動態響應和靜態穩定性都有極高的要求,而各方向運行的速度曲線也比較特殊。在做圖像對準時,各運動方向的動態響應、運動速度和精度都直接影響到自動對準的準確性、對準效率和矽片的對準通過率。

  全自動划片機一般由主機部分、自動對準、自動上下片和自動清洗4個單元組成,其核心部分是主機。HP-821精密自動划片機是作為全自動划片機的主機部分進行研製的,已具有雙軸划切和自動對準功能,並留有其他配套部分的軟硬體介面,具備良好的可擴展性。該機的研製成功,在為生產線提供一種Ф200mm自動划片機的同時,為Ф200mm全自動划片機的整機研製奠定了基礎。
分子束外延 分子束外延技術(L-MBE)是近年來發展的一種先進的薄膜生長技術, 在氧化鋅薄膜生長的研究中因其獨特的優越性顯示出越來越強的競爭力.在討論ZnO薄膜基本特性的基礎上, 較為詳細地論述了激光分子束外延技術及其在氧化鋅薄膜製備中的應用和取得的新進展.
成像系統 PHOTO-CHROM是全新的薄層成像系統,無需電腦即可列印輸出。圖象可以儲存在軟盤中(3張TIFF或BMP圖片,或30張JPEG圖片),再轉移到電腦中。系統帶PHOTO-CHIROMRF分析軟體,可以和PC機整合
氣體過濾器 氣體過濾器系高壓級,使用於空氣,氮氣等介質.用於濾去氣體中固體顆粒.具有重量輕,易於安裝,通氣流量大等特點.
液體過濾器  一種液體過濾器裝置,包括一具有入口、出口的筒體,於該出口處設有蓋體,該筒體中設有至少兩組磁鐵單元,該磁鐵單元由多個磁鐵組合而成,且相鄰之磁鐵單元相對面具有相同磁極性,於該筒體中磁鐵單元后裝置有過濾單元,該過濾單元由可透析液體之濾網片設成筒狀。本實用新型亦可過濾液體中之鐵質異物並使液體中之水軟化。  
油過濾器 油液污染是系統故障的最主要原因,它會降低系統性能、縮短零部件壽命、增加換油次數和延長停機時間,給系統正常運行帶來極大的負面影響。油過濾器用來對油液進行合理有效過濾與凈化來控制油液污染。
擴散片  LCD 光擴散片
75PBA, 100PBU, 100S,
100SXE, 100MXE, 100LSE,
100GM2, 100TL2, 100TL4,
125TD3
LCD 光反射片
RW125, RW188,
GR38W, RW75CB, RWX3T
LED 光擴散片
MTN-R1, MTN-G2
MTN-W1, MTN-W2
MTN-W4, MTN-W5
MTN-WX5, MTN-W7,
MTN-W8
D101, D105, D202
D204, D206, D207

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