微型真空泵原理簡單得來說是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，並且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
例如，將一個密閉容器(開始時，內部是常壓100KPa)，接上微型真空泵VAA6005對它進行持續抽氣，最後密閉容器內的氣體壓力就會低於大氣壓，達到60KPa的絕對壓力。
不但如此，經過特殊的技術改進，除了單抽氣的微型真空泵外，還可以形成抽氣打氣兩用的微型真空泵(即排氣端可以產生比較大的正壓)如PCF、FAA系列，用於增壓、充氣、克服系統阻力等等以及非常獨特的水氣兩用微型真空泵PHW系列它可以用於需要長期空轉、干轉等等場合，不像一般的水泵空轉，或者干轉就會損壞泵。
正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，所以按照微型真空泵原理，微型真空泵被作為動力裝置廣泛用於氣體採樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了廣泛的應用。
