何為離子束加工

tags:    時間:2014-03-07 14:25:44
何為離子束加工簡介
離子束加工的基本原理   離子束加工是在真空條件下,先由電子槍產生電子束,再引入已抽成真空且充滿惰性氣體之電離室中,使低壓惰性氣體離子化。由負極引出陽離子又經加速、集束等步驟,最後射入工……
何為離子束加工正文

離子束加工的基本原理

離子束加工是在真空條件下,先由電子槍產生電子束,再引入已抽成真空且充滿惰性氣體之電離室中,使低壓惰性氣體離子化。由負極引出陽離子又經加速、集束等步驟,最後射入工件表面。

離子束的加工裝置主要由電子槍 真空系統 控制系統 電源系統等四部分所組成。

離子束加工的特點

1、是一種精密微細的加工方法。

2、非接觸式加工,不會產生應力和變形。

3、加工速度很快,能量使用率可高達90%。

4、加工過程可自動化。

5、在真空腔中進行,污染少,材料加工表面不氧化。

6、離子束加工需要一整套專用設備和真空系統,價格較貴。

7、由於離子束流密度及離子的能量可以精確控制,因而能控制加工效果。

8、加工應力小。變形微小,對材料適應性強。

9、由於加工在較高真空度中進行,故產生污污染少,特別適於加工易氧化的材料


離子束工加工的應用


1、蝕刻加工:

離子蝕刻用於加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達上的溝槽,解析度高,精度、重複一致性好。

離子束蝕刻應用的另一個方面是蝕刻高精度圖形,如集成電路、光電器件和光集成器件等征電子學構件。

太陽能電池表面具有非反射紋理表面。

離子束蝕刻還應用於減薄材料,製作穿透式電子顯微鏡試片。


2、離子束鍍膜加工:

離子束鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種形式。

離子鍍可鍍材料範圍廣泛,不論金屬、非金屬表面上均可鍍制金屬或非金屬薄膜,各種合金、化合物、或某些合成材料、半導體材料、高熔點材料亦均可鍍覆。

離子束鍍膜技術可用於鍍制潤滑膜、耐熱膜、耐磨膜、裝飾膜和電氣膜等。

離子束裝飾膜。

離子束鍍膜代替鍍鉻硬膜,可減少鍍鉻公害。

提高刀具的壽命。

 

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